天津混合固态激光雷达价格品牌企业「多图」

MEMS激光雷达

相控阵技术是MEMS实现激光雷达功能的另一个解决方案，其基本原理是，MEMS的微小移动产生光程差，多个具有不同相位的出射光束在远场干涉形成光束偏转。韩国Byung-WookYoo等人的研究小组对此方案进行研究，如图6所示，在硅基上制备具有8×8高对比光栅的MEMS结构相控阵，优化的性能表现为10V电压即可产生1.7π的相移，具有0.5MHz的响应速度，采用透镜系统扩大视场，测量得到远场总视场角为9.14°×9.14°。

Flash激光雷达

Flash激光雷达的性能主要决定于焦平面探测器阵列，焦平面探测器阵列可以使用PIN型光电探测器，在探测器前端加上透镜单元并采用读出电路可以实现短距离探测，系统如图10所示。对于远距离探测需求，目前满足需求的的探测器—雪崩型光电探测器（***alanchephotodetector，APD），其探测的灵敏度高，可实现单光子探测，基于APD的面阵探

测器具有远距离单幅成像、易于小型化等优点。APD探测器分线性和盖革两种工作模式：线性模式雪崩光电二极管探测器（linear mode ***alanche photodiode，LMAPD）和盖革模式雪崩光电二极管探测器（Geiger mode ***alanche photodiode，GMAPD）。Lincoln实验室进行了可应用于激光雷达的面阵探测器的一系列研究。工作在可见光波段的32×32的GMAPD，并且集成了500 MHz的计时电路，可实现每秒5000～10000次的成像速度，距离分辨率15cm。也报道了256×256面阵规模的GMAPD，如图11所示，将探测器单片混合集成到CMOS读出电路上，实现无源光子计数成像，经过30ms的多帧叠加，可以获得3.5km处较清晰的像。Raytheon公司报道了碲镉（HgCdTe）材料LMAPD阵列用于3D激光雷达探测，面阵规模可达到256×256，并验证了线性模式下单光子计数，从而可提供实时、远距离探测功能。